粘在集成電路上的灰塵可能會(huì)導(dǎo)致斷路和短路，灰塵直接影響產(chǎn)品的成品率。如今，半導(dǎo)體工業(yè)（芯片廠）對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣清潔度非常挑剔，對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也最高。芯片集成度的指標(biāo)之一是線寬，即線路上的線寬。在微米計(jì)算線寬的時(shí)代，人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)灰塵粒徑的限制小于線寬的1/10。隨著線寬的不斷縮小，1/10的意思變成了1/4和1/2。2002年，普通微機(jī)P4處理器的線寬縮小到0.13毫米。此時(shí)，任何灰塵都可能損壞電路，傳統(tǒng)的粒徑和線寬比較已經(jīng)過(guò)時(shí)。
 

傳統(tǒng)的芯片廠通風(fēng)形式是大循環(huán)，整個(gè)車間的天花板都布滿了高效率的過(guò)濾器，整個(gè)地面都是回風(fēng)柵板。目前，一些芯片廠使用自帶風(fēng)扇的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU可以達(dá)到足夠的清潔度，但運(yùn)行管理和能耗不同。無(wú)論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠前都要逐一掃描測(cè)試。目前國(guó)內(nèi)沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家按照歐美標(biāo)準(zhǔn)掃描測(cè)試過(guò)濾器。芯片廠的人認(rèn)為，傳統(tǒng)檢測(cè)方法中使用的測(cè)試灰塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的賬。空氣中的鹽粒是所有電子工業(yè)的敵人，但空氣中的鹽粒比較大，普通過(guò)濾器可以過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想場(chǎng)所應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可以沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)。芯片廠建在過(guò)濾器上花了很多錢。
 

20世紀(jì)90年代初，國(guó)外就高效過(guò)濾器玻璃纖維濾紙的含硼問(wèn)題爭(zhēng)吵了一段時(shí)間。后來(lái)，過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成為芯片廠關(guān)注的焦點(diǎn)。近年來(lái)，聚四氟乙烯纖維高效過(guò)濾材料出現(xiàn)在國(guó)外。這種材料沒(méi)有揮發(fā)性物質(zhì)，但它是帶靜電的駐極體，減少了隱患，增加了麻煩。過(guò)濾后的空氣應(yīng)通過(guò)電中和去除空氣中的離子。目前，這種材料的價(jià)格很高，大多數(shù)過(guò)濾器仍然使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)自粘合劑和清洗劑，為芯片廠供應(yīng)的過(guò)濾器制造商應(yīng)該在這上下功夫。
 

今天的過(guò)濾技術(shù)可以把潔凈室的粉塵濃度降到幾乎為零，你可以做到更干凈。當(dāng)芯片上的線寬小于0.5毫米時(shí)，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物已經(jīng)成為影響成品率的主要危害。因此，化學(xué)過(guò)濾器一般配置在線寬度小于0.5毫米的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中。化學(xué)過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜，即活性炭過(guò)濾器，但傳統(tǒng)的活性炭過(guò)濾器制造商和軍事工廠沒(méi)有搭上芯片廠的班車，芯片廠的化學(xué)過(guò)濾器大多由空調(diào)過(guò)濾器制造商提供。
 

化學(xué)物質(zhì)的來(lái)源可能是：室外空氣，工藝本身，人，裝修材料。大多數(shù)情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)工作人員也無(wú)法區(qū)分污染物的種類和濃度，因此，提供給他們的化學(xué)過(guò)濾器至少應(yīng)該具備兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性，充足的活性炭材料。所謂廣譜吸附，就是對(duì)任何東西都能吸附多少，具有這一功能的是最普通、最便宜的顆粒活性炭。若能確定污染物的種類，則可對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理，以提高其吸附能力。
 

過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)需要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù)，幫助用戶確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有從事化學(xué)過(guò)濾的專家，與知名化學(xué)實(shí)驗(yàn)室密切相關(guān)。可惜國(guó)內(nèi)過(guò)濾器廠家很少在那里下功夫，所以國(guó)內(nèi)芯片廠目前使用的大部分化學(xué)過(guò)濾器都是進(jìn)口產(chǎn)品。半導(dǎo)體行業(yè)不是人們普遍認(rèn)為的無(wú)煙行業(yè)，也有環(huán)境問(wèn)題。那里經(jīng)常使用最新的工藝和材料，有些化學(xué)品在其安全性評(píng)估前已經(jīng)大量使用，一不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染。既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就為此付出了驚人的代價(jià)。
 

為了保險(xiǎn)，一些企業(yè)也在排氣系統(tǒng)中使用化學(xué)過(guò)濾器。中國(guó)正處于新一輪芯片廠建設(shè)的熱潮中。因此，未來(lái)幾年，中國(guó)需要數(shù)億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器。如果國(guó)內(nèi)過(guò)濾器商家像以前一樣只熱衷于抄襲、猜疑、在各地忙碌，不在技術(shù)上進(jìn)取，不互相交流，芯片廠這個(gè)難得的市場(chǎng)將屬于外國(guó)人。